Прибор для измерения выравнивания OptiCentric® Bonding 5D

оптическийдля оптических линздля процесса

« OptiCentric® скрепляя станцию 5D было начато для того чтобы достигнуть требований к самой высокой точности когда оптика точности выровняна и скреплена внутри клетка. Система автоматически выравнивает объектив внутри клетка так, что оптически ось объектива совпадет к оси симметрии клетки в наклоне и переносе. Во время этого процесса объектив не поддержан клеткой, а владение на цыпленке кольца который можно выровнять к любой оси внутри клетка. Furthermore, скрепляя станция определяет осевой зазор в направлении z между поверхностью ссылки, например верхней поверхностью фланца клетки, и вершиной объектива используя интегрированный интерферометр низко-сцепления OptiSurf®. Она после этого переносит объектив к позиции цели Главные особенности Выравнивание объективов в клетке в 5 степенях свободы Располагать точность системы: x \ µm /y \ /z 1 θx, θy 2arcsec (Точность юстировки объектива в зависимости от образца) Время краткосрочного цикла минута 5 (без клея распределяя и УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО леча) Полностью автоматизированный процесс выравнивания Стабилизированный процесс, независимый от квалификации оператора Быстрое и легкое перестроение к другому type образца \ /html»