Контроллер позиционирования 3 оси PEPS® II

цифровойэлектронныйвысокоэффективный

PEPS® II улучшает и развивает запатентованную компанией TMC систему PEPS® (Precision Electronic Positioning System). Благодаря добавлению нового цифрового контроллера, PEPS® II проще в использовании, предлагает больше функций и имеет улучшенный пользовательский интерфейс. PEPS® II - это цифровая бесконтактная система контроля высоты для пневматических систем виброизоляции TMC. Такие системы обычно включают механические клапаны высоты и механический датчик высоты. Области применения системы варьируются от оборудования для производства полупроводников для улучшения времени оседания и увеличения выхода продукции до прецизионных лабораторий, где требуются оптимальные шумовые характеристики и стабильность платформы. Цифровое управление, удобный ЖК-интерфейс -Бесконтактный электропневматический контроль высоты для систем виброизоляции Gimbal Piston™, CSP® и MaxDamp® -Повторяемость положения по оси Z: 10 микрон -Улучшенная виброизоляция благодаря отсутствию рычажного контакта традиционных механических систем управления высотой -Функция пневматического форварда минимизирует реакцию оси Z на движение ступени X-Y -Может быть настроен на быстрое устранение движения, вызванного X-Y этапами -Опциональная функция "VX" включает в себя инерционные датчики для активного демпфирования резонанса вертикального изолятора -Совместимость с "Soft-dock". Позволяет загружать/выгружать пластины без кинематического монтажа -Пропорциональные электронные клапаны. Отсутствие импульсного шума, создаваемого "включением-выключением" или обычными электронными клапанами -Вытяжная линия для чистого удаления отработанного воздуха -Логический контроль и состояние дока