Антивибрационная система активного типа Electro-Damp® II

Electro-Damp® первая коммерчески активная система изоляции вибрации конструированная специфически для увеличения объема, разрешения, и выхода в применениях производства полупроводника. Electro-влажное II полная переконструкция изначальной системы, добавляя модульность, цифровой контроль, feedforward, приводы высоко-силы/высоко-зазора, и множественные цифровые пользовательские интерфейсы специфически конструированные для пользы в применениях OEM как microlithography, осмотр, и инструменты метрологии. Требования места инструментов производства полупроводника противореча на их системе изоляции вибрации. В ответ на шум пола, система должна быть мягка эффектно фильтровать вибрацию пола от достижения изолированной поверхности. Одновременно, система должна быть жестка в ответ на силы этапа такое это движение этапа наводит минимальное смещение изолированных поверхности и скамьь быстро. В дополнение к использовать инерциальную, активную обратную связь амортизируя, Electro-влажный feedforward данным по польз II дальше для того чтобы улучшить ответ системы. Работы Feedforward путем принимать информацию от регулятора этапа о положении и ускорении этапа, тогда процессах которые данные для того чтобы снабдить возбуждение силы полезная нагрузка, значительно уменьшая вызванное этап движение полезной нагрузки. Система может прочитать данные по feedforward цифров, как двухполярные аналоговые сигналы, или путем чтение выхода кодировщиков квадрирования. Цифровой регулятор DC-2000 может также автоматически отрегулировать параметры необходим feedforward используя телевизионную испытательную таблицу этапа. Это делает установку на начальных установках, или после изменений к полезной нагрузке, быстрый и легкий.