Решетка

Краткое описание
Квадратные микро-сквозные отверстия без скруглений углов (R=0), позволяющие выполнять узкопозиционные и малодиаметральные паттерны, ранее невыполнимые.

Особенности

• Микро-сквозные отверстия высокой плотности
  • Пример: до 150 000 отверстий 0,1×0,1 мм на 3‑дюймовом кристалле
• Сквозные отверстия с высоким отношением сторон (до 1:10)
  • Типичный диапазон 1:8–1:10; доступны прямые или конические сечения
• Минимизация отколов
  • Улучшает контакт при анодном спекании с Si

Опции

• Металлизация боковых стенок
  • Снижает оптические интерференции или поглощение между отверстиями
• Выбор геометрии полости

Стандартные спецификации
Материал: Borofloat 33 (BF33) и др.
Размер стекла: ≦φ150 mm
Мин. толщина: 0,25 mm
Допуск по толщине: ±0,01 mm
Мин. размер отверстия: □0,07 mm
Допуск размера отверстия: ±0,02 mm
Макс. отношение сторон: 1 : 10
Контроль частиц: Доступен
Форма поперечного сечения: Прямое / Коническое

Характеристики / технические спецификации

• Материал: Borofloat 33 (BF33) и др.
• Размер стекла: ≦φ150 mm
• Минимальная толщина: 0,25 mm; допуск ±0,01 mm
• Минимальный размер отверстия: квадрат 0,07 mm; допуск ±0,02 mm
• Максимальное отношение сторон: до 1 : 10 (типично 1:8–1:10)
• Поперечное сечение: прямые или конические сквозные отверстия
• Микроотверстия высокой плотности: напр. 150 000 отверстий 0,1×0,1 мм на 3‑дюймовом кристалле
• Металлизация боковых стенок доступна для контроля оптической интерференции/поглощения
• Доступен контроль частиц и работа в чистой комнате
• Минимизация отколов для улучшения характеристик анодного спекания