Координатный стол высокой точности KDT105 series

XYпьезоэлектрический2 оси

Штатив XY с диафрагмой и крестовыми роликовыми подшипниками обеспечивает высокую динамику и скорость для применения в высоком и сверхвысоком вакууме, а также в условиях экстремального ультрафиолетового излучения. По сравнению со своими размерами, он обеспечивает очень малые размеры шага. Оснащенный пьезодвигателем, он обеспечивает самые маленькие шаги в нанометровом диапазоне с практически недостижимой стабильностью положения. С помощью наномотора достигается очень высокая динамика, а также высокая скорость и максимальный срок службы с точностью в микрометровом диапазоне. Его можно легко комбинировать с подъемным столом MT105, что открывает широкие возможности применения. Области применения Точное позиционирование для лабораторных приложений, микроскопии и полупроводниковой технологии, исследований в сверхвысоком вакууме и под экстремальным ультрафиолетовым излучением, подготовки образцов, сканирования образцов, обработки образцов, биочипов, инспекции пластин, выравнивания пластин, настройки камеры, исследования материалов, анализа материалов, лучевой линии, ускорителя, синхротрона