Система микропозиционирования под высоким вакуумом MP53-3-PM-10-PM-L

3 осиXYZпьезоэлектрическая

MP53-3-PM - Вакуумные компактные многоосевые системы Микропозиционер высокого разрешения - HV / UHV / EUV, перемещение 10 мм, повторяемость 0,2 мкм, нагрузка 0,5 кг - Вакуум: все диапазоны HV / UHV / EUV - Смазочная жидкость до 10E-8 / сухой до 10E-11 мбар - Макс. Температура выпечки: 120°C Опционально конфигурируется: - Поставляется в магнитном, маломагнитном и безмагнитном исполнении - Опционально с измерительной системой высокого разрешения для повторяемости до 0,005 мкм - Возможность комбинирования с поворотными ступенями для ротационных применений - Индивидуальная адаптация к условиям установки в камере - Варианты исполнения для чистых помещений ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу) - Опционально с контроллером FMC400/450 Миниатюрный XYZ-манипулятор для сложных задач Манипулятор MP53 представляет собой миниатюрную 3-осевую систему для перемещения по осям X, Y и Z в очень ограниченном монтажном пространстве. Диапазон перемещения составляет 10 мм. Манипулятор оснащен пьезодвигателями и может реализовать позиционирование с шагом в несколько нанометров для высокоточных приложений в высоком и сверхвысоком вакууме. Области применения Высокоточное позиционирование на минимальном пространстве для лабораторных приложений, микроскопии и полупроводниковых технологий, исследований в сверхвысоком вакууме и под экстремальным ультрафиолетовым излучением, подготовки образцов, сканирования образцов, обработки образцов, настройки камеры, настройки датчиков, исследования материалов, анализа материалов, пучковой линии, ускорителя, синхротрона, миниатюризации