Система позиционирования под высоким вакуумом LA80-2LA95

многоосная3 осиXY

Быстрая 3-осевая система сверхвысокого напряжения LA80-LA90 УФ/УФВ/ЕСВ, макс. 500 мм перемещения, повторяемость 2 мкм, нагрузка 5 кг Этот быстрый перемещающий каскад подходит для точного, быстрого и долговечного применения в сверхвысоком вакууме. Он также отвечает требованиям для использования в условиях экстремального ультрафиолетового излучения благодаря очень низкой эмиссии и малому количеству частиц. Оси доступны в размерах LA80, LA95, LA170 и рассчитаны на нагрузку до 20 кг в вертикальном положении. Данная комбинация осей была разработана в рамках проекта "tOMography Nano crYo (OMNY)" при Институте Пауля Шеррера (PSI). Точность, скорость и долговечность в сверхвысоком вакууме - Вакуум: все диапазоны HV / UHV / EUV до 10E-11 мбар - Смазочная жидкость до 10E-8 / сухая до 10E-11 мбар - Срок службы в километровом диапазоне без жидкой смазки - Макс. Температура выпечки: 120°C - Поставляется в магнитном исполнении Опции: - Ходы, специально адаптируемые к вашему применению до 510 x 80 x 80 мм - Без обратной связи как чисто шаговый двигатель с повторяемостью до 5 мкм - Выдающаяся остановка в нанометровом диапазоне благодаря дополнительным пьезо клещевым тормозам в Z и Y - Шариковая винта в Z и Y для более высокой скорости и длительного срока службы со смазкой - Версии для чистых помещений ISO 14644-1 класс 4 (до класса 1 по запросу) Ссылки OMNY-A tOMography Nano crYo stage | Review of Scientific Instruments 89, 043706 (2018) | https://doi.org/10.1063/1.5020247