Система микропозиционирования под высоким вакуумом MP105-3 series

3 осиXYZпьезоэлектрическая

Быстрый, точный микропозиционер - HV / UHV / EUV, перемещение 20 - 50 мм, повторяемость 0,2 мкм, нагрузка 1 кг - Вакуум: все диапазоны HV / UHV / EUV - Смазочная жидкость до 10E-8 / сухой до 10E-11 мбар - Макс. Температура выпечки: 120°C Опционально конфигурируется: - Доступны версии с магнитным, низкомагнитным и безмагнитным приводом - Различные варианты двигателей: Пьезодвигатель или наномотор - Опционально с измерительной системой высокого разрешения для повторяемости до 0,005 мкм - Возможность комбинирования с поворотными столами для ротационных приложений - Индивидуальная адаптация к ситуации установки в камере - Версия для чистого помещения ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу) - Опционально с контроллером FMC400/450 Миниатюрный XYZ-манипулятор для высокоточных или динамических применений Манипулятор представляет собой высокодинамичную 3-осевую систему для перемещения по осям X, Y и Z в очень ограниченном монтажном пространстве. Реализуется ход до 50 мм. Манипулятор оснащен пьезомоторами и может реализовать позиционирование с шагом в несколько нанометров для высокоточных применений в высоком и сверхвысоком вакууме. Опционально оснащенный наномотором, он особенно подходит для высокодинамичного и высокоточного позиционирования. Области применения Высокоточное позиционирование в очень малых пространствах для лабораторных приложений, микроскопии и полупроводниковых технологий, исследований в сверхвысоком вакууме и под экстремальным ультрафиолетовым излучением, подготовки образцов, сканирования образцов, обработки образцов, настройки камеры, настройки датчиков, исследования материалов, анализа материалов, пучковой линии, ускорителя, синхротрона, миниатюризации