Координатный стол XY KT500-EDLM

с линейным двигателем2 осивысокой точности

Плоский, точный и быстрый KT500 впечатляет не только своей очень плоской и компактной конструкцией. Благодаря ходу 350 мм можно сканировать даже большие подложки и детали по всей поверхности. Он сконструирован таким образом, что все параметры процесса могут быть точно повторены, при этом достигается производительность, сопоставимая с пневматическими системами. Благодаря кабельному интерфейсу, отсоединяемому через штекерное соединение, возможна простая установка и необслуживаемая эксплуатация до 500 000 полных ходов. Высокодинамичная система XY с длительным сроком службы - Высокоточная повторяемость до 0,3 мкм - Экономия времени в режиме "старт-стоп" благодаря максимальной скорости до 300 мм/с и ускорению 1G - Необслуживаемая работа до 500 000 полных ходов, после чего требуется только простая смазка - Срок службы до двух миллионов полных ходов - Возможность установки до двух электродинамических линейных двигателей в каждом направлении: 2+2 двигателя для особо быстрых результатов сканирования, 2+1 двигатель для равной динамики Области применения Приложения для быстрого сканирования и динамического перемещения полотна, например, контроль полупроводников, измерительные системы, автоматический оптический контроль (AOI), измерительные приборы, дифференциальные измерения, замена систем воздушных подшипников