Координатный стол XY KDT600-EDLM

с линейным двигателем2 осивысокой точности

Сканирующая ступень с большой апертурой Этот высокоточный xy-штатив разработан для максимальной повторяемости. Точность может быть достигнута с помощью компенсации экономичным способом, который в противном случае предназначен только для систем на воздушных подшипниках.Полированные направляющие с крестообразными роликами используются для повторяемости прямолинейности и плоскостности + -0,15 мкм. Благодаря большому проходящему свету большие подложки можно измерять с обеих сторон или с помощью рентгеноскопии. Также имеется возможность дифференциального измерения для использования преимуществ полной точности датчика в измерительных приложениях. Даже при полном перемещении столика всегда сохраняется отверстие размером не менее 60 мм x 60 мм. Самые быстрые приложения для сканирования с высоким ускорением Чрезвычайно быстрые результаты сканирования благодаря скорости позиционирования 330 мм/с Сканирование высоких нагрузок с экстремальным разрешением 0,05 мкм Оптимизация затрат для достижения производительности, сравнимой с пневматическими подшипниковыми системами Работа без технического обслуживания до 500 000 полных ходов, после чего требуется только простая смазка - Срок службы до двух миллионов полных ходов - встроенный кабельный тракт, вставной терминал Области применения Приложения для быстрого сканирования и динамического перемещения полотна, например, контроль полупроводников, измерительные системы, автоматический оптический контроль (AOI), измерительные приборы, дифференциальные измерения, замена систем воздушных подшипников