Система позиционирования для контроля полупроводниковых пластин и метрологии KT470-SM

XYZлинейнаядля чистого помещения

Эта инспекционная система состоит из XY-Stage KT470 на гранитной конструкции с ручным Z-вертикальным блоком. Эта комбинация подходит для гибкого и модульного проектирования производственных систем / поточных процессов для чистых помещений и может быть опционально дополнена поворотными или моторизованными осями Z. Идеально подходит для гибких процессов контроля пластин размером до 12 дюймов / 300 мм Держатель для сменных технологических головок (микроскоп, датчик, ...) Различные диапазоны сканирования и ручная регулировка высоты (опционально моторизованная с контроллером движения) Низкая стоимость обслуживания для круглосуточного производства до класса чистоты ISO 6 (выше - по запросу) Опции: Расширяемый диапазон перемещения XY 200 - 350 мм, Z 200 - 400 мм Адаптация к процессу: диафрагма, держатель образца, расширение дополнительных (моторизованных) осей Z Адаптированное гашение вибраций с помощью демпфирующего резинового промежуточного слоя или пневматических демпферов Концепция и технология безопасности (аварийная остановка, дверной выключатель, световая завеса, лазерный сканер, STO, SLS) Индивидуальный дизайн с рамой, корпусом или интеграцией в лабораторию Разработка по индивидуальному заказу с 3D-проектированием, прототипами, серийным производством