Полировальный станок для кромки EP-X series

промышленныйавтоматическийдля поверхности

Серия SpeedFam EP-X - это высокопроизводительные кромочные полиры для 300 мм, 200 мм и 150 мм грунтовых кремниевых пластин. Помимо уникального трех видов полировки поверхности (верхняя/нижняя фаска и вершина пластины) мы также обеспечиваем плоское и выемкообразное зеркальное полирование для удаления повреждений и подготовки всей области фаски края С 1988 года SpeedFam отгрузила около 550 кромочных полировщиков для первичных пластин. Крайний полир SpeedFam является мировым стандартом в области подготовки кромок, используемым на заводах по производству первичных пластин по всему миру. SpeedFam поддерживает производство 300 мм, 200 мм и 150 мм грунтовых пластин. Серия SpeedFam EP-X - это высокопроизводительные кромочные полиры для 300 мм, 200 мм и 150 мм грунтовых кремниевых пластин. Помимо уникального трех видов полировки поверхности (верхняя/нижняя фаска и вершина пластины) мы также обеспечиваем плоское и выемкообразное зеркальное полирование для удаления повреждений и подготовки всей области фаски края.