EPD - это система, которая улучшает кромку пластины путем полировки узорчатых пластин. EPD удаляет посторонние и нежелательные вещества со скоса края в критических технологических узлах. SpeedFam является пионером в области полировки кромок для производства первичных пластин. Мы используем эту систему с поразительными результатами на 300-, 200- и 150-миллиметровых пластинах.
С 1988 года SpeedFam отгрузила около 550 кромочных полировщиков для первичных пластин. Крайний полир SpeedFam является мировым стандартом в области подготовки кромок, используемым на заводах по производству первичных пластин по всему миру. SpeedFam поддерживает производство 300 мм, 200 мм и 150 мм грунтовых пластин.
SpeedFam EPD - это кромочный полир для улучшения кромок пластин на 300, 200 и 150 мм узорчатых пластинах. По сравнению с травлением или другой обработкой кромок, такой как простая очистка, в EPD используется шламовая полировка для кардинального улучшения кромок пластин. Она оснащена устройством очистки после полировки для достижения сухого состояния при сухой обработке.
---