ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ОХЛАДИТЕЛИ
ThermoRack 1801
Охладитель с более высокой пропускной способностью для плазменного травления и других полупромышленных применений
1800 Вт охлаждающей мощности - на 50% больше, чем у ThermoRack 1201 в том же корпусе для установки в стойку 5U
±0,05°C Температура Устойчивость/повторяемость
Диапазон рабочих температур от -20°C до 70°C
Предназначен для очень быстрого реагирования
Доступны в стандартных конфигурациях с высоким, средним и низким расходом
Уменьшает вариации между пластинами и устраняет эффект первой пластины
До 80% энергоэффективнее, чем в компрессорных холодильниках
Использует термоэлектрическую технологию для высокой надежности и снижения затрат на обслуживание
Простой дизайн - только 2 движущиеся части
Устраняет фреон и другие вредные хладагенты, чтобы соответствовать новым экологическим нормам
Использует меньше технической воды и дорогостоящих охлаждающих жидкостей, таких как Fluorinert или Galden
Компактный размер: До 6 систем TR1801 вмещают в себя до 1 компрессорного чиллера
Доступны коммуникационные интерфейсы для систем AMAT, LAM, TEL и Hitachi
Универсальная мощность - подключайте и уходите в любую точку мира
Отличное решение для плазменного травления, плазменной золы, CMP и других процессов
---