Циркуляционный охладитель для полупроводниковой промышленности Nikola series

с водяным конденсаторомтермоэлектрический

ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ОХЛАДИТЕЛИ Никола 3К/5К Высокая емкость термоэлектрических холодильников для плазменного травления и других полу-приложений Наши высокопроизводительные охладители, разработанные специально для обработки полупроводников 3000 или 5000 Вт охлаждающей мощности ±0,05°C Температура Устойчивость/повторяемость Два варианта насоса с расходом до 10 галлонов в минуту и давлением до 100+ фунтов на кв. дюйм Уменьшает вариации между пластинами и устраняет эффект первой пластины До 80% энергоэффективнее, чем в компрессорных холодильниках Использует термоэлектрическую технологию для высокой надежности и снижения затрат на обслуживание Модульная конструкция для легкого обслуживания Устраняет фреон и другие вредные хладагенты, чтобы соответствовать новым экологическим нормам Использует меньше технической воды и дорогостоящих охлаждающих жидкостей, таких как Fluorinert или Galden Доступны коммуникационные интерфейсы для систем AMAT, LAM, TEL и Hitachi Универсальная мощность - подключайте и уходите в любую точку мира Отличное решение для плазменного травления, плазменной золы, метрологии, CMP и других процессов