ThermoRack 1201 - это 19-дюймовый стоечный термоэлектрический охладитель с рециркуляцией, специально разработанный для этого
полупроводниковое производство
плазменное травление
плазменная зола
производство солнечных и плоскопанельных дисплеев
Диапазон рабочих температур: от -10°C до 80°C
Температура окружающей среды: от -10°C до 40°C без конденсации
Устойчивость / Повторяемость: - ± 0,05°C при постоянной нагрузке (даже вблизи окружающей среды)
Охлаждающая мощность: - до 1340 Вт при 20°C и 20°C технологической воды
Мощность нагрева: - до 2000 Вт @ 20°C при 20°C технической воды
Охлаждающая жидкость / рабочая жидкость: - гликоль / смесь воды, фторинерт / гальден или HFE
Фитинги для технологических жидкостей: - 1/2" Swagelok
Насос: - 14 л/мин (3,7 галлона в минуту) @ 30 фунтов на кв. дюйм с HFE
Объем бака: - 5,7 литра (1,5 галлона) с 2 датчиками уровня
Вода для установки: - 4-19 л/мин (1-5 галлонов) @ 10-35°C отфильтрованная, очищенная рециркуляционная охлаждающая вода для установки
Водопроводные фитинги для установок: - 1/2" Swagelok (нержавеющая сталь 316)
N2/CDA (опция): - 500 куб. м -30°C точка росы или ниже CDA или N2,
30-60 фунтов на кв. дюйм (2-4 бара) для работы при низких температурах
Смоченные материалы: - Процесс: Алюминий, нержавеющая сталь и полимеры
Объект: Тефлоновый пропитанный анодированным алюминием
и нержавеющая сталь
Размер (Ш x Г x В): - 19" x 24" x 8,7" 5U (48,3 x 61 x 22,1 см)
Вес: - 70 фунтов (31 кг)
Вход питания: - 200-240 В перем. тока 1 фаза, 50/60 Гц, 10 ампер макс
Автоматический выключатель: - 16 ампер 200-250 В переменного тока 2-полюсный с 30 мА GFCI
Удаленный EMO: - Внешний сухой контакт
Связь: - Лам аналог, AMAT CHX и Tel Unity II
Сигнализации: - Температура, уровень жидкости, система или компонент
сбой (дисплей, сухой контакт и интерфейс машины
Стандарты: - Semi S2-0200, F47 совместимый, CE,
TUV внесен в списки UL, CAN/CSA и EN 61010-1
Гарантия: - 2 года
---