Встроенный источник света освещает шкалу, состоящую из инкрементальной решетки с шагом 20 мкм и дорожки с контрольными метками для абсолютного позиционирования. Отраженный свет создает интерференционную картину, которая регистрируется диодной матрицей в считывающей головке. Относительное перемещение шкалы и считывающей головки приводит к появлению аналоговых синусоидальных и косинусоидальных сигналов, а также контрольной метки в форме TTL.
> Компактный размер 6,6 x 5,1 x 1,7 мм
> Высокое разрешение: 0.4 нм @ 1 м/с
> Скорость позиционирования: до 10 м/с
> Совместимость со сверхвысоким вакуумом до 10-11 мбар
> Диапазон рабочих температур: 0 °C - 80 °C
> Жесткие условия эксплуатации с механическими вибрациями
> Совместимость с широким спектром отражательных шкал с шагом 20 мкм
> Системы с замкнутым циклом движения
> Робототехника
> Полупроводниковая промышленность
> Манометры для систем измерения перемещений
> Высокоточное сканирование образцов в биологии и микроскопии
> 3D-печать высокого разрешения
> Исследования и разработки
---