Пластина нанопозиционирования со встроенным энкодером METIRIO Readhead

Считывающая головка составляет основу энкодера METIRIO®. Все оптические и электрические компоненты встроены в очень компактный корпус флип-чипа. Технические характеристики Компактный размер [мм] - 6,6 x 5,1 x 1,7 Низкое потребление тока [мА] - 20 Разрешение позиционирования [нм] - 0,4 при 20 мм/с Высокая скорость [м/с] - 10 Центральная длина волны [нм] - 850 (невидимая) Электрические данные Напряжение питания VDD [В] - от 3 до 5,5 Выходной сигнал положения (синусоидальный) [Vpp] - 1 Выходной опорный сигнал (квадрат) [VDD] - RS485 Полоса пропускания (f3dB) [кГц] - 500 ESD восприимчивость (HBM) [кВ] - 4 на каждом контакте Время запуска [мкс] - 150 Цифровой интерфейс - TWI Окружающая среда Совместимость со сверхвысоким напряжением [мбар] - HV (1E-6); UHV (1E-11) Максимальная температура запекания [°C] - 160 Диапазон рабочих температур [°C] - 0 - 80 Влажность (40 °C) [ - 80 без конденсации Совместимость со шкалой Тип решетки - отражающая Шаг шкалы [мкм] - 20 Тип шкалы - линейная, выпуклая, поворотная (диаметр до 12 мм) Допустимые рабочие расстояния [мм] - 1,2 мм (стандарт), другие варианты по запросу