Этот длинноходный высоконагруженный штатив оснащен сменным блоком привода SmarAct, который позволяет снимать весь пьезопривод со штатива, когда это необходимо для обслуживания. Поскольку доступ к приводу осуществляется с боковой стороны ступени, устройство не нужно снимать с установки позиционирования во время обслуживания. Механическая конструкция основана на клине с приводом, который гарантирует высокое разрешение движения ступени. Отдельная направляющая обеспечивает прямолинейное движение вдоль направления нагрузки и позволяет интегрировать датчик положения для прямой обратной связи по положению и работы в замкнутом контуре. Монтажные отверстия позволяют легко прикручивать их к линейным ступеням серии CLS92. По желанию заказчика максимальное подъемное усилие может быть увеличено.
Механический
Макс. Подъемная сила [Н] - 15
Размеры [мм] - 92 x 92 x 57
Вес [г] - 935
Замкнутый контур
Разрешение датчика MCS2 [нм] - 1 (S), 4 (L)
Однонаправленная повторяемость MCS2 [нм] - ± 40 (S,L)
Разрешение датчика (H)CU [нм] - 100 (L)
Однонаправленная повторяемость (H)CU [нм] - ± 200 (S,L)
Опции
Варианты материала - стандартное алюминиевое основание; стальное основание (-ST); титановое основание (-TI); черное анодированное покрытие (-BK)
Варианты вакуума - HV (1E-6 мбар); UHV (1E-11 мбар)
---