Исключительная производительность
Полное кодирование с разрешением 1 нм
Активная фиксация положения
Большой диапазон сканирования и низкий тепловой дрейф
Большие площади зондирования на всей площади 30 x 30 мм
Высокоскоростная визуализация EBAC/EBIC
Эффективность и простота
Универсальный пользовательский интерфейс
Автоматическая посадка и выравнивание всех зондов
навигация "Point & Click" в пределах изображения SEM
Групповые перемещения и "Шаг и повтор"
CAD-навигация для образца и зондов
---