Оптический зонд SP series

для лабораторийдля электрической характеризации

Благодаря полностью замкнутой системе управляемых перемещений SMARPROBE обеспечивает позиционирование с непревзойденной повторяемостью и стабильностью - даже в нанометровом масштабе. Это исключает дрейф, ручную коррекцию и догадки во время измерений, делая сложные измерения более быстрыми, надежными и легко автоматизируемыми. Вот что значит замкнутый контур - и вот что делает разницу. SMARPROBE SP4 предлагает 4 манипулятора, SP6 - 6, а SP8 поддерживает до 8 манипуляторов. Каждая система включает в себя один образец сцены. Все манипуляторы имеют три степени свободы и оснащены оптическими энкодерами нанометрового разрешения для высокоточного электрического зондирования. Интеллектуальные процедуры позиционирования, реализованные в специальном управляющем программном обеспечении, а также возможность загрузки до четырех ступеней для образцов SEM максимально облегчают работу и повышают производительность при выполнении любых задач по нанозондированию. Созданная на основе ведущего ноу-хау SmarAct в области нанопозиционирования на основе пьезоэлементов, надежная механическая конструкция гарантирует высочайшую стабильность и интуитивно понятное управление. Все системы SMARPROBE совместимы с широким спектром FIB, SEM и оптических микроскопов, что делает их идеальным решением как для модернизации существующих рабочих процессов, так и для интеграции в новые приборы. Системы SMARPROBE поддерживают методы определения электрических характеристик, начиная с 2-контактных EBIC/EBAC и заканчивая современными 4- и 6-точечными измерениями, что делает их незаменимым инструментом для лабораторий анализа отказов полупроводников. Ключевые преимущества: Полуслепая работа в РЭМ. Благодаря активной фиксации положения, низкому тепловому дрейфу и функции Point&Click позиционирование датчика можно выполнять с минимальным воздействием электронного пучка,