Сверхстабильный и компактный дифференциальный интерферометр SP 5000 DI/F предназначен для применения в условиях, когда требуется обеспечить высокую стабильность измерений длины в течение длительного времени. Компактная конструкция датчика позволяет обеспечить долгосрочную стабильность настройки и размещения даже в ограниченном пространстве, благодаря чему эта высокоточная измерительная система идеально подходит в качестве лазерной шкалы для замкнутых контуров регулирования. Для работы системы требуется внешняя эталонная точка, которая обычно размещается в середине диапазона измерения для обеспечения оптимальной стабильности измеренных значений. Основной принцип работы интерферометра основан на конструкции серии SP 5000 DI, что позволяет достигать разрешения по длине в субнанометровом диапазоне. Без труда возможны измерения на расстоянии нескольких метров, при этом можно использовать отражатели серии SP.
минимизация влияния внешних факторов за счет дифференциального измерения
термически сверхстабильная конструкция датчика, температурная чувствительность < 10 нм/К
возможно использование различных оптических отражателей, например, сферических, плоскозеркальных
высокая устойчивость измерительного отражателя к наклону
компактная и прочная конструкция
корпус датчика из нержавеющей стали в стандартной комплектации
Расстояние между лучами: 14 мм
Возможны версии для OEM-производителей, OEM-программное обеспечение и вакуумная версия
может использоваться в качестве системы обратной связи с дополнительными интерфейсами
широкие возможности триггера
---