Сверхстабильный компактный дифференциальный лазерный интерферометр
- дифференциальное измерение длины или угла с высочайшей точностью
- минимизация влияния окружающей среды благодаря дифференциальному измерению
- термически ультрастабильная конструкция датчика, температурная чувствительность < 10 нм/К
- возможность использования различных оптических отражателей, например, сферического или плоского зеркального отражателя
- большая инвариантность наклона измерительного отражателя
- компактная и прочная конструкция
- стандартное исполнение головки датчика из нержавеющей стали
- расстояние до луча: 14 мм
- Возможны OEM-версии, OEM-программное обеспечение и вакуумная версия
- возможность использования в качестве системы обратной связи с помощью дополнительных интерфейсов
- широкие возможности запуска
Сверхстабильный, компактный дифференциальный интерферометр SP 5000 DI/F предназначен для приложений, в которых необходимо проводить высокостабильные измерения длины в течение длительных периодов времени. Компактная конструкция датчика обеспечивает долговременную стабильную настройку и размещение даже в ограниченном пространстве, поэтому прецизионная измерительная система идеально подходит в качестве лазерной шкалы для замкнутых контуров управления. Для достижения оптимальной стабильности измеренных значений требуется внешняя точка отсчета, которая обычно располагается в середине диапазона измерений. Основной принцип работы интерферометра основан на серии SP 5000 DI, что позволяет достичь разрешения по длине в субнанометровом диапазоне. Измерения на расстоянии нескольких метров легко выполнимы, для чего можно использовать отражатели серии SP.
---