Инфракрасные приборы для контроля толщины листов измеряют толщину полупрозрачных листов, таких как сепараторы батарей, низкоотражающие покрытия, такие как черный резист, и кремний. Он может использоваться во всех областях применения от лабораторного уровня до поточного 100% контроля на производстве.Система инфракрасного поглощения состоит из компактного зеркального зонда с пропускающей оптической системой, которая позволяет одновременно измерять несколько параметров, таких как толщина, плотность и состав пленки, на более чем 100 длинах волн.
1 Измеряет толщину полупрозрачных листов, пленок с низким коэффициентом отражения, кремния и т.д., что было затруднительно при использовании оптической интерферометрии
2 Компактный зонд
Благодаря использованию небольшого 30-миллиметрового отражающего зонда его можно установить на небольшом пространстве в оборудовании или на производственных линиях. Кроме того, поскольку зонд соединен с основным корпусом только с помощью оптоволоконного кабеля, он обладает превосходной устойчивостью к воздействию окружающей среды.
3 Высокая скорость измерения
Одновременная выборка длин волн ближнего инфракрасного диапазона от 950 нм до 1650 нм в 100 точках и более
4 Воспроизводимость измерения толщины 0,1% или менее (3σ)
5 Алгоритмы измерения
---