Стационарный толщиномер SK-FTM-Map series

для пленкисо спектральной отражательной способностьюс автоматической калибровкой

Устройство для картирования пластин способно автоматически измерять толщину пленки по всей поверхности пластин размером до 300 мм. Функция автоматического выравнивания, функция самокалибровки и вафельный патрон с высокой плоскостностью обеспечивают высоконадежное измерение толщины пленки. Это устройство используется в сочетании с компактным монитором толщины пленки. Он может быть установлен на загрузочном отверстии оборудования для производства полупроводников для контроля толщины пленки на производственном оборудовании при сохранении чистоты. 1 Возможно автоматическое картографическое измерение толщины пленки на пластинах до 300 мм 2 Функция автоматического выравнивания 3 Функция автоматической калибровки 4 Повышенная надежность измерений на поверхности пластины благодаря использованию патрона с высокой плоскостностью 5 Поддерживает автоматизацию 6 Установка загрузочного порта