Стационарный толщиномер SKM-iFTM series

для пленкисо спектральной отражательной способностью

Монитор толщины пленки с визуализацией - это метрологический инструмент, который может визуализировать распределение толщины прозрачной многослойной пленки. Он может визуализировать распределение толщины пленки с разрешением 0,1 нм с помощью спектроскопической рефлектометрии. Визуализация равномерности толщины пленки Измерьте толщину/качество пленки в поле зрения микроскопа, покажите 3-D распределение Разрешение толщины пленки : <0,1 нм Хорошее разрешение по толщине, эквивалентное инструментам спектрометрии. Длина волны может быть выбрана от 450 нм до 750 нм с точностью 1 нм. Высокая скорость / Многослойное измерение до 9 слоев Параллельная обработка с помощью спектроскопической рефлектометрии Расширенные возможности применения ① Несколько сотен повторяющихся пленок, таких как полосовые интерференционные фильтры и составные многослойные пленки, такие как траншейные структуры ② Оценка плотности субмикронной структуры с использованием приближения эффективной среды (EMA) ③ Оценка кристалличности локальной области, например, лазерный отжиг