Машина для нанесения покрытий PVD RTSP1000-Tantalum

с помощью магнетронного катодного распылениятонких слоеввакуумная

Тантал чаще всего используется в электронной промышленности в качестве защитного покрытия из-за его хорошей устойчивости к эрозии. Приложения 1. Микроэлектронная промышленность, так как пленки можно реактивно распылять, что позволяет контролировать удельное сопротивление и температурный коэффициент сопротивления; Медицинские инструменты, такие как телесные имплантаты, из-за их высокой биологической совместимости; Покрытия на коррозионно-стойких деталях, таких как защитные гильзы, корпуса клапанов и крепежные детали; Распыленный тантал также можно использовать в качестве эффективного барьера для защиты от коррозии, если покрытие является сплошным, дефектным и прилипает к подложке, предназначенной для защиты. Преимущества - Применяется стандартная тележка, которая позволяет легко и безопасно загружать / выгружать держатели носителей и заготовки в / из камеры осаждения. -Система заблокирована для предотвращения неправильной работы или небезопасных действий. - Предусмотрены нагреватели подложки, которые установлены в центре камеры, термопара с ПИД-управлением для высокой точности, чтобы улучшить адгезию конденсирующей пленки. -Прочные конфигурации вакуумных насосов с молекулярным насосом с магнитной подвеской через задвижку, подключенную к камере; с насосом Рутса Leybold и двухступенчатым пластинчато-роторным насосом, механическим насосом. - В этой системе применяется источник ионизированной плазмы высокой энергии, чтобы гарантировать однородность и плотность.