Система загрузки и разгрузки для разгрузочного приспособления

для полупроводниковой пластины

Подложки/клетки перемещаются между отдельными этапами процесса вручную или с помощью системы Montrac в специально разработанных переносках SCHMID. Полные носители размещаются в загрузчике в ряд и перемещаются на позицию переноса. Здесь пластины/клетки извлекаются из ящиков носителей с помощью индексной системы и затем подаются на технологическое оборудование. В обратном направлении разгрузчик принимает пластины/ячейки и обеспечивает постоянную загрузку носителей SCHMID. Для этого пластины/ячейки синхронизируются в ряды на конвейерных лентах с регулируемой скоростью и последовательно укладываются в пустые корпуса носителей с помощью индексной системы. Высочайшая производительность на небольшой площади Безвибрационная и безопасная транспортировка вафель/ячеек Подходит для вафель/ячеек различных размеров Низкий уровень поломок < 0,1 % Подходит для очень тонких пластин/ячеек от 120 мкм