Перегрузочный робот

паук5 осейдля погрузки/разгрузки полупроводниковых пластин

Робот переносит пластины (или ячейки) с входящей ленты на различное количество дорожек от одной до пяти на выходящей ленте - и наоборот. Кроме того, пластины могут быть отсортированы в лотки или извлечены из лотков. Отдельные ленты подают пластины в машину и выводят их из машины, поэтому для пластин разного размера не требуется переналадка и гарантируется бережная транспортировка. Встроенная система камер определяет положение, дефекты и перекрытие пластин. Несовмещенные пластины будут установлены в правильное положение, а поврежденные и перекрывающиеся пластины будут удалены. Был разработан специальный захват Бернулли, обеспечивающий бережный и бесконтактный захват. Высокая пропускная способность 4 000 пластин/ч Хранение в мобильных и сменных ящиках Обнаружение двойных и сломанных пластин и удаление в бокс Обнаружение дефектных 6"-пластин и отдельное удаление в коробки дает возможность преобразовать пластины в 5"-пластины Дополнительное обнаружение и удаление поломок на конечном пути для предотвращения накопления в следующем процессе Подготовлен для алмазной резки пластин Простота обслуживания благодаря хорошей доступности