Автоматическая система погрузки/разгрузки SMZ-IV

модульнаялинейнаядля погрузно-разгрузочных работ

Оборудование Inline, которое может быть интегрировано с одной или двумя лодками интерфейса PECVD оборудования и реализовать транспортировку графитовой лодки и пластин загрузки и выгрузки автоматически. Это оборудование может быть применено в процессе до и после процесса PECVD, который может загрузить пластины из кассеты в графитовую лодку и транспортировать выполненную лодку к оборудованию PECVD или транспортировать обработанную лодку к этому оборудованию и выгружать пластины из графитовой лодки в кассету автоматически. - Модульная конструкция, которая может быть интегрирована в один или два комплекта оборудования PECVD. - Управление с помощью ПК, планшетного компьютера, что делает работу простой и понятной. - Онлайновое обнаружение микротрещин, определение толщины пленки, система цветового контроля и автоматическая работа с пластинами NG (требуется дополнительная плата). - Конфигурация Inline/offline. - Совместимость с AGV, RFID система, MES функция опционально.