Автоматическая система погрузки/разгрузки

для полупроводниковой пластиныпромышленная

·Оснащено портальным механизмом для загрузки/разгрузки пластин (или импортным шестиосевым роботом для загрузки/разгрузки пластин) и шестиосевым роботом для работы с кассетами; наличие двух рабочих станций для переключения при загрузке/разгрузке пластин обеспечивает высокую пропускную способность и стабильность работы оборудования; ·Важные детали, такие как гребни и захваты, изготовлены из специальных материалов и с использованием специальных технологий обработки, что значительно снижает риск повреждения пластин гребнями и захватами; специально разработанные конструкции позволяют быстро заменить отдельный гребень или захват; ·Модульная структура программы управления; интерфейс человека-машины (HMI) обеспечивает высокоскоростной обмен данными с ПЛК через сетевую связь, что удобно для расширения функциональности оборудования и его технического обслуживания; удобный интерфейс человека-машины и совершенная система контроля и сигнализации гарантируют автоматическую и стабильную работу оборудования; ·Совместимость с системой MES и интеллектуальной производственной линией с использованием автономных транспортных роботов (AGV); модуль определения удельного сопротивления и другие испытательные модули поставляются опционально; другие функции могут быть настроены в соответствии с требованиями заказчика.