Исследование показало что очищение газа обеспечивает последовательное и repeatable отростчатое проведение для изготовлять полупроводникового устройства. Пункт очищения пользы изолирует критические отростчатые зоны от систем распределения газа дома и защищает против осадок и взаимн загрязнения очищенности газа.
Очистители MonoTorr обеспечивают необходимое очищение для азота и редких газов на slpm до 5 расходов потока.
---