Очистители азота PS8 MegaTorr - это усовершенствованные, оптимизированные конструкции, обеспечивающие производительность подкапельного фильтра при малой занимаемой площади. SAES Pure Gas опирается на многолетний опыт проектирования трубопроводов сверхвысокой чистоты (UHP), передовой анализ технологических материалов и современные интегрированные системы управления для разработки этого семейства очистителей, отвечающих требованиям низкой капитальной стоимости, высокой надежности и высокой производительности. Серия PS8 использует процессы двойной адсорбции, разработанные специально для получения газа сверхвысокой чистоты для полупроводниковых приборов. Выходные уровни примесей CO, CO2, H2, H2, H2O и O2 снижаются до уровня ниже части на миллиард (ppb).
---