Полностью автоматизированная микрокластерная система для технологических станций, напр.
Стриппинг
Спин-коатер
Девелопер
Lift-Off
Горячие, холодные и грунтовочные пластины
УФ-печь
Макс. размер пластины: Ø 6"~ Ø 8" (Ø 150 ~ Ø 200 мм)
Макс. размер подложки: 6" x 6" (150 мм x 150 мм)
Модульная конструкция для 6 технологических станций
---