Влажная обработка пластин / подложек / масок
Очистка, проявка, нанесение полос, травление, различные химические процессы, включая Piranha, HF, SC1 и SC2, Megasonic и Highpressure
Автономная и настольная версия
Макс. размер пластины: Ø 12" (Ø 300 мм) / Ø 600 мм / Ø 750 мм
Индивидуальные патроны
200 программируемых рецептов
---