InPolySide® 3+ обеспечивает превосходное травление задней стороны и краев для приложений TOPCon. Устраняется наволакивание поли-Si при LPCVD и PECVD. Благодаря высокой производительности и полной гибкости при работе с пластинами этот инструмент готов к созданию нового поколения солнечных элементов. InPolySide®, разработанный как компактное одноинструментальное решение, охватывает этапы предварительного оксидного травления, политравления, очистки или травления и промывки стекла. Дополнительная обработка пластин не требуется.
Области применения
Технология TopCon
Возможность перехода с PERC
Одностороннее и краевое травление поли-Si
Особенности и преимущества
Краевое травление для безшунтовых ячеек TopCon
Хорошо известный процесс с высокой степенью вариабельности, адаптируемый к требованиям заказчика:
- Низкое содержание CoO
- Ячейки N-типа
- Селективный эмиттер для всех доступных типов поли-Si (PECVD, LPCVD)
Процесс запатентован компанией RENA
Высоко оптимизированная конфигурация оборудования и настройки процесса
решение с 1 инструментом
---