Автоматизированное технологическое оборудование RENA InOxSide® 3 разработано как интегрированное решение для изоляции краев, полировки тыльной стороны и удаления легированного стекла из кремниевых солнечных элементов. Технология InOxSide®, использующая процесс с наименьшей стоимостью владения и наилучшей производительностью, является лучшим выбором для изготовления кремниевых солнечных элементов Al-BSF, PERC и PERT. Она основана на поточной платформе RENA NIAK.
Характеристики и преимущества
Полностью автоматизированное мокрое химическое одностороннее травление в поточном процессе на 5/6 дорожках
Одностороннее травление эмиттеров, полировка задней стороны и удаление легированных стекол (PSG/BSG)
Для одностороннего травления используется HF/HNO3/H2SO4, что обеспечивает лучшую в своем классе стоимость владения (CoO)
Запатентованная технология RENA
Регулируемое травление задней стороны: от 1 до 5 мкм, до 6 мкм при использовании опции RENA PreCon)
Встроенная система промывки и сушки пластин
Производительность до 6000 пластин/час
Совместимость с размером пластин M0, M1, M2, M4, M6 и M12
Длительный срок службы ванны благодаря функции подачи и вымывания
Точная система дозирования для постоянного состава ванны
Используется конструкция роликов без уплотнительных колец
Самый низкий процент поломок в промышленности
Основана на платформе поточной обработки RENA NIAK
Высокое время безотказной работы
Простота обслуживания
Опции
Интерфейс MES (SECS/GEM)
Шкаф для подачи химикатов
Насосная станция для слива химикатов / сточных вод
Датчики для контроля процесса (например, pH, электропроводность)
RENA RaPID (решение RENA против ПИД)
---