Электрический кромкострогальный станок GC-LD804

для полупроводниковой пластиныдля кромкис двумя головками

Описание продукта
GC-LD804 — станок для фаски, предназначенный для обработки кромок сапфировых пластин. Совместим с пластинами диаметром 4, 6 и 8 дюймов, поддерживает обработку опорной поверхности OF и предлагает опциональную функцию обработки паза NOTCH. Оборудование оснащено двойной рабочей станцией, измерением толщины пластин бесконтактным или контактным способом, ротационной очисткой и центробежной сушкой для стабильной высокоточной работы.

Параметры продукта
Размер и вес корпуса: 2 250 (L)*1 650 (W)*2 600 (H) mm; 3 000 kg
Размер пластины: 4/6/8 дюймов
Толщина пластины: 300 μm~1 500 μm
Рабочая станция: двойная станция
Форма опорной поверхности пластины: OF/Notch (Notch опция)
Габариты оборудования: 2 250 (W)*1 650 (D)*2 600 (H) mm
Точность по осям шлифования X/Y/Z: ±1 μm
Плоскостная точность керамической присоски: ≤3 μm
Точность торца и радиального направления шпинделя (шлифовальный стол и круг): ±1 μm
Внешний диаметр шлифовального круга: Φ202 mm
Внутренний диаметр посадки шлифовального круга: Φ30 mm
Толщина круга: 20 mm
Скорость вращения круга: 0-4 000 об/мин (по требованию заказчика)
Скорость вращения Notch-круга: 0-100 000 об/мин (по требованию заказчика)
Типы кругов: T, R, TT, RR, TR и др.
Измерение толщины пластины (бесконтактное или контактное): точность повторного измерения толщины: ±2 μm; точка измерения: центр
Метод очистки: ротационная очистка
Метод сушки: центробежная сушка
Загрузка/разгрузка: Количество коробок: 4; Количество слотов: 25 (регулируется)

Характеристики / Технические спецификации

• Подходит для фаски кромок сапфировых пластин; совместим с 4", 6" и 8" пластинами
• Поддержка обработки опорной поверхности OF; опциональная обработка паза Notch
• Конструкция с двойной станцией для увеличения производительности
• Диапазон толщин пластин: 300 μm–1 500 μm; точность повторного измерения ±2 μm (центральная точка)
• Точность позиционирования по осям X/Y/Z ±1 μm; плоскостная точность керамической присоски ≤3 μm; точность торца и радиальная точность шпинделя ±1 μm
• Внешний диаметр круга Φ202 mm, посадочный диаметр Φ30 mm, толщина 20 mm; поддержка нескольких профилей кругов (T, R, TT, RR, TR)
• Скорости вращения круга и Notch-круга настраиваются по требованиям заказчика (круг 0–4 000 об/мин; Notch 0–100 000 об/мин)
• Ротационная очистка и центробежная сушка для обработки пластин
• Загрузка/разгрузка: 4 коробки; до 25 слотов (регулируется)