Станок для шлифования с поворотным столом GC-BG202H

ручнойавтоматическийвысокой точности

Описание продукта
Эта серия шлифовальных станков предназначена для истончения твёрдых и хрупких материалов. Используется принцип In-feed: вращающаяся пластина (wafer) обрабатывается вращающимся шлифовальным кругом с вертикальной подачей. Модель GC-BG202H оптимизирована для высокой жёсткости и подходит для эффективной, высокоточной обработки пластин из карбида кремния, а также кремниевых пластин.

Параметры продукта
Поддерживаемые размеры пластин: 8 дюймов, 6 дюймов
Диапазон обрабатываемой толщины: 0,1 мм – 1 мм
Принцип шлифования: In-feed
Размер шлифовального круга: 12 дюймов (300 мм)
Режим шлифования: Авто / Ручной
Количество кассет для материала: 2 (совместимы с 8" и 6")
Обрабатываемые стороны: одностороннее/двустороннее истончение (выбор через программу)
Вес: 9500 KG
Габариты (Д×Ш×В): 3050 × 1495 × 2180 мм

Похожие продукты

• GC-SCDW8300 Резательный станок для карбида кремния
• GC-TD804 Фасовочный станок для карбида кремния
• GC-BG202H Полуавтоматический/автоматический станок для истончения

Особенности / Технические характеристики

• Применяемые материалы: твёрдые и хрупкие материалы, особенно пластины из карбида кремния и кремниевые пластины
• Размеры пластин: 8 дюймов, 6 дюймов
• Диапазон толщины обработки: 0,1 мм – 1 мм
• Шлифовальный круг: 12 дюймов (300 мм)
• Принцип шлифования: In-feed; режимы: автоматический или ручной
• Шпиндели: 2 (Z1, Z2) с воздушными подшипниками
• Мощность шпиндельного двигателя: 11 KW; скорость шпинделя: 1000–3000 rpm (Z1/Z2 регулируются независимо)
• Ход по оси Z: 150 мм; разрешение / минимальный шаг: 0,1 μm
• Скорость оси Z: 0,0001–0,08 мм/с; максимальная скорость 50 мм/с
• Столы для пластин: 3 (A, B, C) с воздушными подшипниками и вакуумной адсорбцией
• Скорость стола: 0–500 rpm (настраивается индивидуально)
• Режим переключения столов: пневматический поворотный стол
• Методы очистки стола: масляный камень, двухжидкостный, щётка
• Кассеты для материалов: 2 (совместимы с 8" и 6")
• Вес: 9500 KG; Габариты: 3050 × 1495 × 2180 мм