Электрический кромкострогальный станок GC-TD804

настольныйсверхточныйдля полупроводниковой пластины

Описание продукта
Этот станок предназначен для снятия фаски на пластины (wafer) из карбида кремния. Поддерживаются пластины 4, 6 и 8 дюймов и обработка поверхности OF. Опционально доступна функция обработки пазов NOTCH. Система выполнена с двойной рабочей станцией для обеспечения непрерывного пропуска и стабильной работы.

Параметры продукта (таблица)
Габариты и масса корпуса: 2 250 (L) * 1 650 (W) * 2 600 (H) мм; 3 000 кг
Размер пластины: 4 / 6 / 8 дюймов
Толщина пластины: 300 μm–1 500 μm
Рабочая станция: двойная рабочая станция
Форма опорной поверхности пластины: OF / Notch (Notch опция)
Размер оборудования: 2 250 (W) * 1 650 (D) * 2 600 (H) мм
Точность по осям X/Y/Z: ±1 μm
Плоскостная точность керамических присосок: ≤3 μm
Точность торца и радиального направления шпинделя рабочего стола шлифования: ±1 μm
Точность торца и радиального направления шпинделя шлифовального круга: ±1 μm
Наружный диаметр круга: Φ202 мм
Внутренний диаметр установки круга: Φ30 мм
Толщина круга: 20 мм
Скорость вращения круга: 0–4 000 об/мин (по требованию заказчика)
Скорость вращения Notch-круга: 0–100 000 об/мин (по требованию заказчика)
Типы кругов: T, R, TT, RR, TR и др.
Измерение толщины пластины (бесконтактное или контактное): повторяемость ±2 μm; точка измерения: центр
Метод очистки: ротационная очистка
Метод сушки: центрифужная сушка
Раздел загрузки/разгрузки: коробов: 4; слотов: 25 (регулируемые)

Особенности / Технические характеристики

• Применение: снятие фаски для пластин из карбида кремния, совместимо с 4/6/8 дюймов
• Опциональные функции: обработка поверхности OF, обработка паза NOTCH (опция)
• Конфигурация с двойной рабочей станцией для поддержки непрерывной погрузки/выгрузки
• Точность: оси X/Y/Z ±1 μm; плоскостная точность присосок ≤3 μm
• Круг: Ø202 мм наружный диаметр, Ø30 мм монтажное отверстие, толщина 20 мм
• Настраиваемые диапазоны скорости: круг 0–4 000 об/мин; Notch до 100 000 об/мин
• Измерение толщины: центральная точка, повторяемость ±2 μm
• Процесс: ротационная очистка и центрифужная сушка после шлифования
• Загрузка/разгрузка: 4 короба с 25 регулируемыми слотами