Данное оборудование используется для двухстороннего шлифования полупроводниковых кремниевых пластин. на одной плите можно разместить 35 кремниевых пластин размером 8 дюймов или 15 кремниевых пластин размером 12 дюймов. Гидростатический поворотный стол обладает такими преимуществами, как высокая несущая способность, малые потери мощности, длительный срок службы и т.д.; кроме того, его смазочная среда может играть роль демпфера вибраций и усреднения ошибок с высокой точностью и хорошей гарантией точности.
---