Обзор продуктаGC-KM202 предназначена для нескольких этапов обработки кремниевых стержней при производстве пластин — квадратирования, снятия фаски, шлифования и полирования. Кремниевые стержни загружаются и зажимаются за один цикл. Высокоточный поворотный стол обеспечивает точное позиционирование между станциями для выполнения всех операций с минимальными потерями материала; допуск квадратирования по одной кромке ≤0,2 мм.
Области применения- Квадратирование кремниевых стержней
- Снятие фаски для удобства обработки и последующих операций
- Шлифование для подготовки размеров и поверхности
- Полирование для достижения требуемой шероховатости поверхности
Параметры изделия- Допуск квадратирования (с одной стороны) — ≤0,2 мм
- Производительность обработки — 29 мин (пример: стержень M10, длина 830 мм)
- Допуск по размерам — ±0,04 мм
- Шероховатость поверхности — Ra ≤ 0,1 μm
Сопутствующие продукты- GC-MJ101R-3 Машина для обрезки монокристаллов
- GC-MJ201R-3 Машина для обрезки монокристаллов
- GC-MJ101RW Машина для обрезки монокристаллов
- GC-GP950L Машина для шлифования и полирования монокристаллов
Особенности / Технические характеристики- Модель: GC-KM202
- Интегрированное покрытие процессов: квадратирование, снятие фаски, шлифование, полирование
- Загрузка и зажим кремниевых стержней в один шаг
- Высокоточный поворотный стол для точного позиционирования между несколькими станциями
- Допуск квадратирования по одной кромке ≤0,2 мм для минимизации потерь кремния
- Пример производительности: 29 минут для стержня M10 длиной 830 мм
- Допуск по размерам: ±0,04 мм
- Шероховатость поверхности: Ra ≤ 0,1 μm