Анализатор для газов TIGER OPTICS™ T-I MAX™

водородныйхлоридадля наблюдения

ТРАССОВЫЙ ГАЗОАНАЛИЗАТОР ХЛОРИСТОГО ВОДОРОДА НОВОГО ПОКОЛЕНИЯ Вы можете потратить много времени на "поиски" молекулярно-воздушных загрязнителей (AMC), когда катастрофические характеристики изделия или потеря выхода продукции обнаруживаются на этапе окончательного тестирования устройства; или вы можете использовать наш анализатор TIGER OPTICS™ T-I Max™ HCl для обнаружения и мониторинга этих невидимых генераторов дефектов, которые обычно скрываются в оборудовании, персонале, вафельных носителях и отсеках чистых помещений. В современных передовых технологиях обработки полупроводников остаточные газы, пары и химикаты, образующиеся при работе с различными материалами, ускоренных операциях обработки, хранении и транспортировке подложек, стали критической проблемой. Настолько, что Международная технологическая дорожная карта для полупроводников (ITRS) теперь выделяет загрязнение AMC в качестве ключевой технической проблемы для достижения и поддержания низкого уровня дефектов в устройствах. Анализаторы T-I Max HCl, основанные на нашей новой глобальной платформе, могут обнаруживать и непрерывно контролировать HCl с беспрецедентным сочетанием чувствительности, селективности и скорости реакции, уделяя особое внимание основным составляющим элемента "химического загрязнения" АМК. Наша GO-cart для АМК добавляет дополнительную гибкость, предоставляя мобильную платформу, которую можно быстро перемещать в различные критические точки мониторинга. ПРЕИМУЩЕСТВА Чувствительный, абсолютный метод измерения с использованием спектроскопии с кольцевым спадом резонатора (CRDS) Значительно улучшенная скорость реакции и пределы обнаружения в частях на триллион Отсутствие дрейфа, калибровка прослеживается ведущими мировыми эталонными лабораториями Самая низкая стоимость владения - не требует технического обслуживания