Анализатор CO VeraSpec™ APIMS-SX5

для газовCH4для воды

Производителям полупроводников необходима возможность непрерывной проверки чистоты технологических газов в режиме реального времени и обнаружения следов загрязнения при концентрациях с низким уровнем частей на триллион (ppt). Мониторинг широкого спектра газов и газовых смесей со стабильностью, обеспечивающей долгосрочную повторяемость, необходимую в большинстве приложений. Спросите о нашем APIMS SX5 с возможностью переключения потоков. -Элегантное переключение потоков для мониторинга сыпучих газов сверхвысокой чистоты Многовидовой мониторинг в режиме реального времени для ВСЕХ критических Примесей в объемных электронных газах, включая следы O2, H2, H2O, CH4, CO, CO2, N2, Ar и др - НОВИНКА! Дополнительная возможность автоматического переключения потоков с помощью газового шкафа SX5 с переключателем потоков. Автоматическое переключение между пятью насыпными газами! - Беспрецедентный диапазон измерений от PPT до 100% благодаря уникальной конфигурации ионизации с двумя источниками - Простота в использовании благодаря встроенному пользовательскому интерфейсу и автоматическим калибровкам по расписанию - Лучшая в отрасли служба поддержки клиентов и команда специалистов по применению