Сканер для измерений FSS 310

для осмотраоптическийвысокоскоростной

Сканер Flying Spot Scanner (FSS) 310 уникальным образом сочетает ОКТ со сканированием в широком поле зрения и решает проблему, связанную с тем, что сверхточные измерительные системы обычно очень медленные и чрезвычайно дорогие. Сканер FSS 310 имеет гибкую, быстро перемещающуюся точку измерения в поле зрения, что позволяет проводить инспекцию ROI за сверхкороткое время цикла без ущерба для точности. Это устройство измеряет общую толщину (TTV), изгиб, коробление и пустоты всей 12-дюймовой пластины за одно сканирование. Преимущества - Высокоскоростная бесконтактная инспекция ROI Благодаря огромной площади сканирования 310 мм FSS 310 проверяет 12-дюймовую пластину на TTV, изгиб, коробление и пустоты в стандартных приложениях менее чем за 10 секунд, что обеспечивает производительность более 300 пластин в час (включая время обработки). Благодаря встроенной системе сканирования длинные траектории линейных осей заменяются короткими вращательными движениями, что значительно сокращает время измерения и избавляет от необходимости использования прецизионной оси. - Простота использования FSS 310 и оптический датчик CHRocodile 2 IT образуют отдельный комплект, который легко интегрируется в ин- и офлайн-системы. Для выполнения индивидуальной процедуры сканирования с помощью FSS 310 требуется всего одно подключение к контроллеру CHRocodile 2 IT. Многочисленные программные интерфейсы и инструменты позволяют легко настроить приложение. Список определенных измерительных задач сохраняется на оптическом датчике, который также управляет датчиком до того, как программное обеспечение визуализирует результаты.