Многокамерная система с роботизированным приводом для самых сложных процессов нанесения покрытий в среде низкого давления.
Размеры: -
Д: 2000 мм Ш: 1800 мм В: 2000 мм
Вес: -
~ 320 КГ
Объем: -
50 литров
3 технологические камеры: -
VA L:300 W:300 H:300
Источник плазмы: -
2,45 ГГц, 1200 Вт / 13,56 МГц, 600 Вт
Включено: -
3x3 газовых канала (система распределения газа внутри технологической камеры)
Дополнительно: -
робот воздушного шлюза, пример держателя подложки для воздушного шлюза
Держатель субстрата (опция): -
Алюминий, возможен индивидуальный дизайн
Вакуумное соединение: -
DN 63 ISO-KF
Удаление воздуха: -
электромагнитный соленоидный клапан
3 Насосные системы: -
40 м³/ч
Дверь камеры: -
Двери камеры технического обслуживания
---