Разработано для приложений, которые должны выполняться в чистых помещениях.
Модульная сборка и переменные размеры камеры.
Бесчисленные опции, такие как поворотные столы или различные держатели для подложек.
Загрузка технологической камеры происходит из чистого помещения.
Разгрузка через шлюзовую дверь в серой комнате.
Размеры: -
Д: 2095 мм Ш: 800 В: 1450 мм
Вес: -
~ 300 КГ
Объем: -
140 / 200 / 300 литров
Технологическая камера: -
500 мм Ø H: 700 мм (140 литров), 600 мм Ø / H: 700 мм (200 литров), 700 мм Ø, H: 800 мм (300 литров)
Источник плазмы: -
2,45 ГГц, 1200 Вт
Включено: -
1 газовый канал (система распределения газа внутри технологической камеры), возможно до 3 каналов
Система охлаждения: -
8 литров (электромеханический охладитель)
Вакуумное соединение: -
DIN 40 ISO-KF
Удаление воздуха: -
электромагнитный соленоидный клапан
Насосная система: -
75 м³/ч
Электрическое подключение: -
3/N/PE AC 50 Гц 400 В / 240 В, макс. 8.5 КВТ
---