Это система Parylene. Это модульная система, разделенная на две части: модуль камеры и модуль испарителя.
Размеры: -
Д: 2600 мм Ш: 960 В: 1460 мм
Вес: -
~ 450 КГ
Объем: -
800 / 1000 литров
Технологическая камера: -
1150 мм Ø H: 600 мм (800 литров), 1000 мм Ø H: 1100
Источник плазмы: -
2,45 ГГц, 1200 Вт
Включено: -
1 газовый канал (система распределения газа внутри технологической камеры), возможно до 3 каналов
Система охлаждения: -
8 литров (электромеханический охладитель)
Вакуумное соединение: -
DIN 63 ISO-KF
Удаление воздуха: -
электромагнитный соленоидный клапан
Насосная система: -
75 м³/ч
Электрическое подключение: -
3/N/PE AC 50 Гц 400 В / 240 В, макс. 8.5 КВТ
---