Стол позиционирования XY PENTOR

Zэлектрический5 осей

Характеристики: Сочетание трехосевой системы перевода и двухосевой системы наклона Свободное центральное отверстие диаметром 17 мм Встроенный предварительный натяг Перевод по каждой оси: до 100 мкм Наклон в каждом направлении: ±2 мрад Твердотельные петли для изгиба в параллелограммном исполнении без механического люфта Опция: интегрированная измерительная система Оптические ступени часто требуют открытого центрального пространства (например, для пропускания света). Для этих целей была разработана система перевода и наклона PENTOR с 17 мм свободным центральным отверстием. Он обеспечивает движение в направлениях x, y и z 100 мкм и наклон ±2 мрад по двум ортогональным осям (j,q). Петли изгиба для трех осей перемещения гарантируют высочайшую степень параллелизма во всем диапазоне перемещения этой ступени. Каждая ось имеет встроенный механический предварительный натяг, что делает 5-осевой пьезопозиционер PENTOR очень хорошо подходящим для динамических приложений. Наклонная часть предназначена для плюс-минус наклона.