В обычных пьезопозиционных наносистемах для перемещения оси используется один пьезопозиционный привод (пьезопередатчик). Эта керамическая труба монтируется между сплошными изгибающими соединениями для передачи усилий, создаваемых трубой. Если эти усилия превышают внутренний предварительный натяг, существует риск повреждения привода штабельного типа (пьезоэлектрическая труба)
Конструкция NanoX® от компании piezosystem jena разумно решает эту проблему:
Движение по одной оси достигается с помощью двух стеков. В то время как один пьезопривод движется в определенном направлении, другой движется в противоположном направлении и возвращается в исходное положение. В результате достигается более высокая жесткость всего нанопозиционера (пьезоэтапная стадия). Нанопозиционирующая система, разработанная таким образом, может выдержать более высокие нагрузки, а стопки менее подвержены разрушению.
Пьезосистема Йена предлагает различные этапы строительства с использованием метода NanoX®. Существуют нанопозиционные системы X и XY с жесткостью до 1,1 Н/мкм и диапазоном перемещения до 900 мкм. Ступени NanoX® идеально подходят для высокоскоростного лазерного сканирования, контроля вибрации, активного демпфирования и других применений, требующих высокодинамичного движения.
---