- Диапазон перемещения 100 мкм, 400 мкм или 800 мкм
- Значительно более быстрый отклик и более длительный срок службы по сравнению с моторизованными приводами
- Точное позиционирование объективов с разрешением до нм
- Прямое измерение положения с помощью емкостных датчиков: Высочайшая линейность
- Совместимость с программным обеспечением для визуализации Metamorph®
- Большая прозрачная апертура с Ø 29 мм
- 3D-изображение
- Экранирование
- Интерферометрия
- Измерительная техника
- Системы автофокусировки
- Биотехнология
- Контроль полупроводников
Выдающийся срок службы благодаря пьезоприводам PICMA®
Пьезоприводы PICMA® имеют цельнокерамическую изоляцию. Это защищает их от влажности и разрушения в результате увеличения тока утечки. Срок службы приводов PICMA® в десять раз выше, чем у обычных приводов с полимерной изоляцией. доказано 100 миллиардов циклов без единого отказа.
Субнанометровое разрешение с помощью емкостных датчиков
Емкостные датчики измеряют с субнанометровым разрешением без контакта. Они гарантируют отличную линейность перемещения, долговременную стабильность и полосу пропускания в диапазоне кГц.
Высокая точность перемещения благодаря направляющим с нулевым люфтом
Гибкие направляющие не требуют обслуживания, трения и износа и не нуждаются в смазке. Их жесткость позволяет выдерживать большие нагрузки, они нечувствительны к ударам и вибрациям. Они работают в широком диапазоне температур.
---